माइक्रोमशीनिंग तकनीक एक बहुत ही लचीली प्रक्रिया है, जो जटिल आकार वाले सूक्ष्म घटकों का उत्पादन कर सकती है। इसके अलावा, इसे सामग्री की एक विस्तृत श्रृंखला पर लागू किया जा सकता है। इसकी अनुकूलन क्षमता इसे विशेष रूप से विचार से प्रोटोटाइप तक तेजी से संचालन के लिए उपयुक्त बनाती है, जटिल 3 डी संरचनाओं का निर्माण, और पुनरावर्ती उत्पाद डिजाइन और विकास,
1. भौतिक micromachining प्रौद्योगिकी
लेजर बीम प्रसंस्करण: एक प्रसंस्करण प्रक्रिया जो धातु या गैर-धातु सतहों से सामग्री को हटाने के लिए लेजर बीम द्वारा निर्देशित गर्मी ऊर्जा का उपयोग करती है। यह कम चालकता के साथ भंगुर सामग्री के लिए अधिक उपयुक्त है, लेकिन इसका उपयोग अधिकांश सामग्रियों के लिए किया जा सकता है।
आयन बीम प्रसंस्करण: सूक्ष्म / नैनो विनिर्माण के लिए एक महत्वपूर्ण अपरंपरागत विनिर्माण तकनीक। यह वैक्यूम चैंबर में त्वरित आयन प्रवाह का उपयोग वस्तु की सतह पर परमाणुओं को हटाने, जोड़ने या संशोधित करने के लिए करता है।
2. रासायनिक micromachining प्रौद्योगिकी
प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी (आरआईई): एक प्लाज्मा प्रक्रिया जिसमें पदार्थ आरएफ निर्वहन द्वारा एक कम वोल्टेज कक्ष में सब्सट्रेट या फिल्मों को खोदने के लिए उत्तेजित होते हैं। यह रासायनिक सक्रिय पदार्थों और उच्च ऊर्जा आयन बमबारी की एक सहक्रियात्मक प्रक्रिया है।
इलेक्ट्रोकेमिकल मशीनिंग (ईसीएम): इलेक्ट्रोकेमिकल प्रक्रियाओं द्वारा धातुओं को हटाने की एक विधि। यह आमतौर पर बड़े पैमाने पर उत्पादन और अत्यधिक कठोर सामग्रियों या सामग्रियों के प्रसंस्करण के लिए उपयोग किया जाता है जिन्हें पारंपरिक तरीकों से संसाधित करना मुश्किल होता है। इसका उपयोग प्रवाहकीय सामग्री तक सीमित है। ईसीएम छोटे या अनियमित कोणों, जटिल रूपरेखा या गुहाओं को कठोर और दुर्लभ धातुओं में काट सकता है।
3. यांत्रिक micromachining प्रौद्योगिकी
डायमंड टर्निंग: प्राकृतिक या सिंथेटिक डायमंड बिट से सुसज्जित खराद या व्युत्पन्न मशीन के साथ सटीक घटकों को मोड़ने या मशीनिंग करने की प्रक्रिया।
डायमंड मिलिंग: एक काटने की प्रक्रिया जिसका उपयोग गोलाकार हीरे के उपकरण का उपयोग करके परिपत्र काटने से एक एस्फेरिक लेंस सरणी उत्पन्न करने के लिए किया जा सकता है।
परिशुद्धता पीसने: एक घर्षण मशीनिंग जो वर्कपीस को एक ठीक सतह खत्म करने और 0.0001 की एक बहुत ही करीबी सहिष्णुता में मशीनीकृत करने की अनुमति देता है "।
चमकाने: एक घर्षण प्रसंस्करण, आर्गन आयन बीम चमकाने एक काफी स्थिर प्रक्रिया है, जिसका उपयोग दूरबीन दर्पणों को खत्म करने और यांत्रिक चमकाने या हीरे के ऑप्टिकल उपकरणों की अवशिष्ट त्रुटियों को ठीक करने के लिए किया जाता है। MRF प्रक्रिया पहली नियतात्मक चमकाने की प्रक्रिया है। एस्फेरिक लेंस, परावर्तक, आदि के उत्पादन में व्यावसायीकरण और उपयोग किया जाता है।
