अल्ट्रा-सटीक मशीन टूल्स का विकास अल्ट्रा-सटीक मशीनिंग के विकास के लिए एक महत्वपूर्ण शर्त है। हाल के वर्षों में, विकसित देशों ने विभिन्न प्रकार के उन्नत अल्ट्रा-सटीक मशीनिंग मशीन टूल्स सफलतापूर्वक विकसित किए हैं। अल्ट्रा-प्रिसिजन मशीन टूल्स की विकास दिशा अल्ट्रा-प्रिसिजन मशीन टूल्स की सटीकता में और सुधार करना है, बड़े पैमाने पर अल्ट्रा-प्रिसिजन मशीन टूल्स विकसित करना और मल्टी-फंक्शनल और हाई-दक्षता विशेष-उद्देश्य अल्ट्रा-प्रिसिजन मशीन टूल्स विकसित करना है।
संयुक्त राज्य अमेरिका, ब्रिटेन, जर्मनी और अन्य देशों ने 1970 के दशक में (1980 के दशक में जापान) अल्ट्रा-सटीक मशीन टूल्स का उत्पादन शुरू किया, और उन्हें बैचों में आपूर्ति कर सकते हैं। बड़े पैमाने पर अल्ट्रा-सटीक मशीन टूल्स के संदर्भ में, संयुक्त राज्य अमेरिका में एलएलएल नेशनल लेबोरेटरी ने 1986 में सफलतापूर्वक दो बड़े पैमाने के अल्ट्रा-परिशुद्धता हीरे के खराद विकसित किए: एक मशीनिंग व्यास के साथ एक क्षैतिज डीटीएम -3 हीरा खराद है 2.1m का, और दूसरा 1.65m का मशीनिंग व्यास है। LODTM वर्टिकल लार्ज ऑप्टिकल डायमंड लेथ। उनमें से, LODTM वर्टिकल लार्ज ऑप्टिकल डायमंड लेथ को दुनिया में उच्चतम सटीकता के साथ अल्ट्रा-प्रिसिजन मशीन टूल के रूप में मान्यता प्राप्त है। संयुक्त राज्य अमेरिका ने बाद में बड़े ऑप्टिकल दर्पणों की सटीक ग्राइंडिंग के लिए बड़े पैमाने पर 6-अक्ष सीएनसी सटीक ग्राइंडिंग मशीन विकसित की।
ब्रिटिश क्रैनफील्ड प्रिसिजन मशीनिंग सेंटर ने 1991 में OAGM-2500 मल्टी-फंक्शन थ्री-कोऑर्डिनेट सीएनसी ग्राइंडिंग मशीन (टेबल एरिया 2500mm × 2500mm) को सफलतापूर्वक विकसित किया, जो सटीक फ्री-फॉर्म सतहों को प्रोसेस (पीसना, मोड़ना) और माप सकती है। मशीन टूल वर्कपीस को विभाजित करने की विधि को अपनाता है, और खगोलीय दूरबीनों में 7.5 मीटर के व्यास वाले बड़े दर्पणों को भी संसाधित कर सकता है।
जापान के मल्टी-फंक्शन और उच्च-दक्षता वाले विशेष-उद्देश्य वाले अल्ट्रा-प्रिसिजन मशीन टूल्स तेजी से विकसित हुए हैं, जिसने जापान के माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक और घरेलू उपकरण उद्योगों के विकास को बढ़ावा देने में अच्छी भूमिका निभाई है।